真空热压烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺，可进行真空烧结，气体保护烧结及常规烧结。是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备，它设计构思新颖，操作方便，结构紧凑，在一台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理，真空钎焊等工艺。真空热压烧结炉使用有哪些注意事项？日常使用中有哪些应急计划？

一，冷却水异常

1、确认加热电源已停止。

2、炉外发生漏水，冷却水量异常时，应尽快采取应急措施，如能保证水量，请继续保持真空，如不能采取应急措施，保持原状，确认设备冷却下来。

3、冷却水发生异常时，设备处于停止状态，马上接通紧急用冷却水。

4、在高温(超过200℃即视为高温)时，如果冷却水停止了，如果不能紧急送水，水冷电极、换热器、真空室壳体及各泵可能被损坏。

二，压缩空气的停止

1、压缩空气异常报警时，设备处于停止状态，应尽快到备用的压缩机房，让其恢复工作。

2、真空中如压缩空气异常报警，且恢复需要较长时间时，则终止真空，让设备停下来。

三，停电

1、停电时，如果断水，应立即接通备用的冷却水，接通水源。

2、如果在非升温、加热和冷却时，能够尽快恢复时，重新启动设备，继续运转如需要较长时间，则将设备保持原状。

3、如果正在加热和冷却时，能够尽快恢复时，重新启动设备，如果需要较长时间时，则保持原状，让设备自然冷却下来。

四，加热电源掉电

1、水压低，当水压低于0.15MPa，压力表报警。

2、接地故障。

3、真空放电，水冷电极接头与加热器连接处必需连接牢固，与反射屏绝缘要好。

4、若炉内压力为13.3-66.5Pa时(此真空度容易发生放电)。电源出现故障，掉电的原因可以认为由于电介质击穿而引起的放电。

五，充气气体(氩气或氮气)停止

1、抽真空开始前，气体充入时间长或者无法充入时，请确认气体管路是否被堵塞。

2、如气体管路没问题，检查电磁阀及气体充气阀的动作，为了安全与其相关联的设备要全部停止后再进行检查。

3、向真空室内充气不能停止的情况下，泄压阀动作如泄压阀动作时，要关闭气体供给阀及配管在内的所有气体系统。

4、确认气体充气配管是否有漏气的地方，如有会影响制品质量。

六，真空室压力恶化

1、真空排气时间比通常长时，应把设备停下来进行检查，根据真空室内构造物不同状态下放气的影响，也有导致压力升高的情况。

2、通过压力上升测试或者用氦气检漏来确认是漏气还有放气的影响。

在真空和保护性气氛中，对金属、陶瓷及一些难熔金属中间化合物粉末加热烧结，要获得一定密度和具有一定机械性能的材料时，一般采用两种工艺;即有压烧结和无压烧结。有压烧结工艺是将粉状材料置于真空和保护性气氛中的高碳模具中，高温加热到软化状态时，加压成型。这种工艺需要一种真空热压烧结才能实现。该烧结炉具有温度高、真空度高、热压力高的特点。

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