真空热压烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺,可进行真空烧结,气体保护烧结及常规烧结。是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备,它设计构思新颖,操作方便,结构紧凑。
检查控制柜中所有部件及配件是否完备、完好。
控制柜安装在相应的地基上,并固定。
按照接线图,并参考电气原理图,接通外接主回路及控制回路,并可靠接地,保证接线无误。
热压炉也可当作真空烧结炉使用,用于真空烧结炉时注意,在炉内放置坩埚后,在盖上保温屏盖后不要忘记再盖其中间的小盖。否则易烧损电炉。
真空中如压缩空气异常报警,且恢复需要较长时间时,则终止真空,让设备停下来。
操作前应做到清洁观察窗玻璃,清洁炉内壁,观察水压情况,观察炉内石墨是否有损坏,上电后观察仪表显示是否正常,测试液压系统能否正常工作。
真空热压烧结炉,包括烧结炉和抽真空部分,烧结炉包括炉体和装设在炉体内的加热室,烧结炉上安装有六个引电电极,其特征是在炉体的上、下方分别设置有油压机上梁和油压机下梁,油压机上梁和油压机下梁由四个支柱连接成一整体;上压头由上水冷压头和上石墨压头连接构成。
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